电源
dy.ybzhan.cn仪表网旗下Advanced Energy Industries, Inc.成立于1981年,总部位于美国科罗拉多州,是一家专注于精密电源转换、测量和控制解决方案的全球化企业。该公司在等离子体电源输送与控制领域拥有超过四十年的技术沉淀,其产品广泛服务于半导体、平板显示器、太阳能光伏和数据存储等高科技制造行业。
Cesar系列具备丰富的频率与功率选择,可覆盖2 MHz、4 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz及40.68 MHz等多种工业、科学和医疗频段,功率等级从300 W至5 kW不等。Cesar 1330以13.56 MHz的标准工业频率运行,适配绝大多数半导体和等离子体工艺设备。
产品采用先进的开关模式技术,搭载高效谐振开关概念,可将功率调节至大范围输出阻抗,在高功率输出的同时降低能量损耗。设备支持多种运行模式,包含正向功率调节、负载调节等,可在不同工况下保持稳定工作状态。
设备搭载智能保护与故障管理功能,集成过压保护、过流保护、短路保护和过热关机保护等多重安全特性,可通过系统互锁接口集成到更大的设备安全回路中,提升使用安全性。产品配备丰富的互联选项与友好的人机交互界面,支持远程监控与现场操作,大功率机型可选用水冷设计,保障连续运行稳定性。
| 参数类别 | 技术指标 |
| 品牌归属 | Advanced Energy(美国) |
| 产品系列 | Cesar |
| 型号 | Cesar 1330 |
| 工作频率 | 13.56 MHz |
| 功率范围 | 300 W — 5 kW |
| 输入电压 | 交流200 V 或 400 V(三相可选) |
| 控制接口 | 前面板LCD + 按键;模拟用户端口;RS-232 / 以太网 |
| 运行模式 | 正向功率调节、负载调节等 |
| 互联互锁 | 系统Interlock接口,支持外部安全信号中断 |
| 保护功能 | 过压、过流、短路、过温保护 |
| 显示器 | 高对比度LCD |
| 冷却方式 | 风冷/水冷 |
| 外形结构 | 19英寸工业机架安装 |
| 安全合规 | CE认证,UC认证;符合SEMI标准 |

产品可应用于等离子体增强化学气相沉积、物理气相沉积、反应性离子刻蚀、溅射、等离子体表面处理、CO?激光系统等工艺场景,适配半导体、电子制造等工业领域使用需求。
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